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晶圓制造中的電子級(jí)氨水

老虎說(shuō)芯|Tiger Chip|

2025-07-29 20:15:24 571

一、什么是電子級(jí)氨水？

電子級(jí)氨水，本質(zhì)上是高度純化的氫氧化銨溶液（NH?OH），也叫超高純氨水，是一種呈強(qiáng)堿性的透明液體。它由氨氣（NH?）和超純水按一定比例溶解混合而成。與普通工業(yè)氨水最大的區(qū)別在于其超高純度、極低金屬離子雜質(zhì)和有機(jī)殘留，專門(mén)應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示面板、光伏等高科技領(lǐng)域。

二、電子級(jí)氨水的作用與應(yīng)用場(chǎng)景

電子級(jí)氨水的作用不是“單一清潔劑”，它在多個(gè)關(guān)鍵工藝中都承擔(dān)了核心功能：

? 1. 晶圓清洗（主要作用）

在集成電路制造中，晶圓表面在每一道工序后都需要極為徹底的清洗，以去除粒子、金屬離子、有機(jī)殘留、微粒等污染物。

電子級(jí)氨水通常和雙氧水（H?O?）、**超純水（UPW）混合，形成SC-1（標(biāo)準(zhǔn)清洗液）**配方：

SC-1 = NH?OH + H?O? + H?O

用途：

去除無(wú)機(jī)顆粒、金屬離子等
在不傷害晶圓表面的情況下“剝離”污染

? 2. 蝕刻工藝

氨水具有一定的化學(xué)活性，可參與對(duì)部分金屬氧化物的選擇性刻蝕，尤其是在清洗后的微刻蝕階段發(fā)揮輔助作用。

? 3. 顯示面板、光伏制造中的表面處理

電子級(jí)氨水也被廣泛應(yīng)用于TFT-LCD、OLED面板制程，以及硅片光伏制造的清洗與表面改性。

三、為什么電子級(jí)氨水門(mén)檻高？

?? 1. 超高純度要求（重點(diǎn)）

在IC制造中，哪怕1 ppb（十億分之一）級(jí)的金屬雜質(zhì)都可能影響器件性能或可靠性。因此，電子級(jí)氨水必須滿足：

雜質(zhì)金屬離子（Fe、Na、K、Ca、Cu等） ≤ ppt ~ ppb級(jí)
有機(jī)碳（TOC） ≤ 50 ppb
微粒數(shù)密度 D50 ≤ 0.1 μm，< 數(shù)百個(gè)/ml
電導(dǎo)率、電阻率控制精密（通常在18MΩ·cm左右）

?? 2. 配制和儲(chǔ)存過(guò)程必須潔凈

設(shè)備需為無(wú)金屬離子污染材質(zhì)
制程環(huán)境要求達(dá)到Class 100或更高潔凈等級(jí)
運(yùn)輸必須采用專用內(nèi)襯包裝，避免二次污染

四、市場(chǎng)需求與行業(yè)現(xiàn)狀

?? 市場(chǎng)規(guī)模

電子級(jí)氨水是濕電子化學(xué)品中的大宗產(chǎn)品
2022年全球需求超 30萬(wàn)噸
用量最大領(lǐng)域：NAND Flash、DRAM、邏輯芯片
年復(fù)合增長(zhǎng)率約 5~7%

?? 國(guó)內(nèi)外對(duì)比

	海外*企業(yè)	國(guó)內(nèi)企業(yè)
技術(shù)水平	三菱化學(xué)、住友化學(xué)、巴斯夫（可量產(chǎn)G5級(jí)）	聯(lián)仕電子、江化微、晶瑞電材、恒申集團(tuán)等（主流G2~G3級(jí)）
產(chǎn)品純度	高，適配先進(jìn)制程（5nm/3nm）	中等偏上，部分產(chǎn)品接近G4
市占率	高端占據(jù)主導(dǎo)	中低端國(guó)產(chǎn)替代加快

五、技術(shù)等級(jí)與摩爾定律的關(guān)系

在先進(jìn)制程中（如7nm以下），芯片結(jié)構(gòu)更精細(xì)、工藝更復(fù)雜，清洗要求也隨之提升。以G等級(jí)劃分純度：

等級(jí)	純度/雜質(zhì)控制能力	應(yīng)用節(jié)點(diǎn)
G2/G3	主流國(guó)產(chǎn)，適配28nm~65nm制程	中低端邏輯/模擬電路
G4/G5	進(jìn)口主流，適配7nm~14nm	高端CPU、GPU等

為了支撐摩爾定律下線寬縮小，濕電子化學(xué)品的純度需要“再上一個(gè)量級(jí)”。

六、客戶驗(yàn)證流程（驗(yàn)證周期長(zhǎng)，門(mén)檻高）

電子級(jí)氨水的供應(yīng)不是“供貨即用”，必須通過(guò)嚴(yán)苛的客戶驗(yàn)證流程，確保其與客戶工藝完全匹配：

客戶表達(dá)驗(yàn)證意向，初步報(bào)價(jià)
提供檢測(cè)報(bào)告（COA）與樣品，客戶進(jìn)行初測(cè)
客戶內(nèi)部立項(xiàng)，制定驗(yàn)證計(jì)劃
啟動(dòng)線上驗(yàn)證，一般需多輪送樣
客戶派人到供應(yīng)商現(xiàn)場(chǎng)稽核（質(zhì)量/潔凈/管理體系）
不合項(xiàng)關(guān)閉，客戶發(fā)出通過(guò)通知
商務(wù)談判、議價(jià)、建立正式供應(yīng)鏈關(guān)系

? 整個(gè)驗(yàn)證周期長(zhǎng)達(dá) 6-18個(gè)月，尤其是國(guó)際IDM大廠對(duì)供應(yīng)商要求極為嚴(yán)苛。

七、工藝核心：物理純化 + 混配工藝

?? 物理純化方式主要包括：

多級(jí)反滲透（RO）
脫氣、脫CO?
超濾（Ultrafiltration）
離子交換（IX）
蒸餾（高精度分離）

這些工藝結(jié)合使用，才能制得符合電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的氨水。

八、運(yùn)輸半徑短的重要性

由于氨水屬于腐蝕性強(qiáng)堿且純度極高，其在存儲(chǔ)和運(yùn)輸過(guò)程中容易吸收雜質(zhì)和CO?：

產(chǎn)品穩(wěn)定性差，有效期短（通常1~3個(gè)月）
強(qiáng)腐蝕性，運(yùn)輸需特殊包裝與車輛
就近供貨可降低運(yùn)輸成本、減少品質(zhì)波動(dòng)

這就是為何很多電子化學(xué)品廠商會(huì)在芯片制造廠附近設(shè)立“工廠型供應(yīng)點(diǎn)”或化學(xué)品配送中心。

九、總結(jié)

電子級(jí)氨水是半導(dǎo)體行業(yè)中不可替代的基礎(chǔ)清洗化學(xué)品，它的質(zhì)量和純度直接影響芯片的良率和可靠性。面對(duì)先進(jìn)制程的技術(shù)需求，電子級(jí)氨水的升級(jí)不僅是材料企業(yè)的挑戰(zhàn)，也是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的關(guān)鍵一環(huán)。

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